离子溅射仪器
样品前处理工作站
品牌:SI
型号:108AUTO
仪器名称:
离子溅射仪器
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 样品前处理及制备仪器 > 其他
学科领域:
交通运输工程
主要技术指标:
(1)样品室大小:直径120mm×高度120mm;
(2)靶材:Au靶、Au/Pd靶、Pt靶、Pt/Pd靶,靶材尺寸:直径57mm×厚度0.1mm;
(3)样品台:可以装载12个SEM样品座,高度可调范围为50mm;
(4)溅射控制:程序化数字控制,最大电流40mA;
(5)溅射头:低电压平面磁控管;
(6)厚度监控:MTM-20高分辨厚度控制仪,可自动终止溅射过程。
主要功能:
扫描电镜样品制备