扫描电子显微镜
电镜制样设备
品牌:ZI
型号:EVO 18(附序3类)配2台电脑
仪器名称:
扫描电子显微镜
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 光学显微镜
学科领域:
其他
主要技术指标:
分辨率:高真空二次电子像<3.0nm(30kV);低真空背散射电子像<4.5nm(30kV)。2、加速电压:200V~30kV,10V步进连续可调。
3、探针电流范围:0.5 pA~5μA,连续可调。
4、样品室内部尺寸:φ365mm×275mm;可放置的最大样品尺寸:直径250mm,高度145mm。
5、探测器:常规SE探测器和BSE探测器,低真空SE探测器。
主要功能:
配置能谱仪,可进行材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量等。