大口径平面检测／标定装置-球面标准反射镜
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所拥有红外激光干涉仪、光谱椭偏仪、大口径红外光电系统测试设备、激光直写设备光刻机、三维标校系统-高精度电子自准直经纬仪2台、精密光学平台、离子束刻蚀系统1500、激光器、多光束激光共聚焦显微镜、离子束抛光机(ygs)等科研仪器。
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