半导体特性分析系统
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中国科学院重庆绿色智能技术研究院
中国科学院重庆绿色智能技术研究院拥有激光直写机、激光扫描共聚焦显微镜、4英寸激光干涉仪、大功率可见激光器、大型三维结构制备系统、近场光强度分布测量系统、闭循环超低振动低温腔系统、多波段有机碳/元素碳分析仪、白光干涉仪、ICP刻蚀机等科研仪器。
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