硅深刻蚀系统
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中国科学院空天信息创新研究院
中国科学院空天信息创新研究院拥有高低温箱1、40米通量塔、任意波形发生器、键合系统、高低温热循环系统-富奇、基地超高分辨光谱仪、臭氧探测激光雷达、大体积高低温箱、高低温循环试验箱、温室气体分析仪等科研仪器。
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