典型用户

场发射扫描电子显微镜及能谱分析仪

扫描电镜（SEM）品牌：ISS 型号：Sigma500/Oxford

仪器名称：

场发射扫描电子显微镜及能谱分析仪

英文名称：

Scanning Electron Microscope/EDS

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

材料科学冶金工程技术机械工程航空、航天科学技术

主要技术指标：

分辨率： 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV 放大倍数：10-1,000,000× 加速电压：调整范围：0.02-30 kV（无需减速模式实现）探针电流： 4pA-20nA （40nA&100nA可选）低真空范围：2-133Pa（Sigma 500VP可用）样品室： 358 mm（φ），270.5 mm（h）样品台：5轴优中心全自动 X=125 mm（可选130mm） Y=125 mm（可选130mm） Z=50 mm T=-10o-90o R=360o 连续

主要功能：

采用成熟的GEMINI光学系统设计，分辨率超过0.8nm，为您提供最高分辨率和最佳分析性能科研平台。可以获取微小粒子、表面、纳米结构、薄膜、涂层和多层的图像信息；对物质微观形貌进行显微成像分析；测定物质结构，在物质微观形貌及结构进行分析的同时，对物质成分进行微区分析，微区尺寸可为纳米尺度。

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上海材料研究所拥有低周疲劳试验机（MTS Landmark 250kN）、气相色谱-质谱联用仪、便携式应力测试仪、X射线探伤仪、傅里叶红外光谱仪、元素分析仪、金属分析仪（光电直读）、电感耦合等离子发射光谱仪、光电直读光谱仪、等离子发射光谱仪等科研仪器。

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