共聚焦显微镜
激光共聚焦显微镜
品牌：维易科
型号：VK-9710K
仪器名称：
共聚焦显微镜
英文名称：
所属分类：
物理性能测试仪器 > 其他 > 其他
学科领域：
能源科学技术
主要技术指标：
高度测量:测量范围0-7mm,显示分辨率0.001μm,反复精度σ 0.012μm※2。宽度测量：显示分辨率0.001μm，反复精度3σ 0.02μm※4。
主要功能：
采用激光作为光源，由激光器发射一定波长激发光，经放大后通过扫描器内的照明针孔光栏形成点光源，成像于计算机上，计算机对所观察的对象进行数字图象处理。 （1）观察分析硅片表面、电池栅线、硅片腐蚀后缺陷等物品外观；（2）克服光学显微镜景深浅；（3）对样品大小的局限性限制小；（4）非接触式、无损伤的进行断层扫描和成像；测量栅线高宽比，检测硅片形貌。
