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中国科学院上海应用物理研究所拥有原子力显微镜（B）、超低本底液体闪烁谱仪、机械式蠕变试验机-1、激光扫描共聚焦显微镜、场发射扫描电子显微镜-聚焦离子束系统、电感耦合等离子体质谱系统、扫描核子微探针及PIXE分析与离子辐照、光谱型成像椭偏仪、傅里叶变换离子回旋共振质谱仪、太赫兹时域光谱及成像装置等科研仪器。
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