光学轮廓仪
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中国科学院理化技术研究所
中国科学院理化技术研究所拥有超声波检测仪、高真空摩擦磨损测试仪、台式扫描电子显微镜、激光扫描共聚焦显微镜、扫描探针显微镜Bruker、高精度折射率测量仪、微悬臂刻蚀微纳加工系统、立式加工中心、慢走丝电火花线切割机床、尼康激光共聚焦-结构照明超分辨荧光显微镜等科研仪器。
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