典型用户

真空镀膜机及水冷系统

镀膜机品牌：成都兴南科技有限责任公司型号：ZZS-630

仪器名称：

真空镀膜机及水冷系统

英文名称：

PVD

所属分类：

工艺试验仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

物理学

主要技术指标：

(一)真空 1、极限真空: 8.0X10-5 Pa; 2、恢复真空:大气至4.0X 10-3Pa≤12min; 3、漏气率:≤8.0X10-2Pa (测试时间为1小时) 注意:上述指标应该在室温环境，真空室清洁干燥，经过高温烘烤、无样品的情况下测试。 (二)蒸发室 1、直径:内部为φ630mm; 2、内部高度: H750mm; 3、底板上有多个φ33.5mm通孔; (三) 工件夹具扇形工件架:夹具转速3~30转/ 分:连续平稳可调: (四)基片烘烤上烘烤:采用钼皮加热，功率5KW,山上向下辐射，最高烘烤温度600℃ (根热电偶位置有关系)。温度控制采用山武温控仪自动控温，恒温精度为设定值正负1℃，温度连续可调。 (五) 电阻蒸发源两根电极，一个舟，功率5KW,电气切换，交替蒸镀。 (六)电子束蒸发源一兴南新型E型270度电子枪,1套高压灭弧电源,功率为8KW,坩埚为4穴坩埚。 (七)抽气系统 1、主泵:1台世纪九泰JTFB-3600分子泵 2、前级泵:1台宁波鲍斯BSJ70罗茨泵 1台宁波鲍斯BSV90机械泵

主要功能：

采用阻蒸、电子束蒸发和磁控直流溅射镀制各种光学薄膜和电学薄膜

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