准分子激光器光纤光栅刻写系统
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哈尔滨工业大学（深圳）
哈尔滨工业大学（深圳）拥有微波等离子体制备系统、立式加工中心、数控车床、GPS、振动试验测试系统、高清电视测试仪、焊接工业机器人系统、高功率紫外激光器、真空镀膜机、三坐标测量机等科研仪器。
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