典型用户

冷场发射扫描电镜

扫描电镜（SEM）品牌：日本电子型号：JSM-6700F

仪器名称：

冷场发射扫描电镜

英文名称：

无

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

其他

主要技术指标：

场发射扫描电镜主机分辨率:1mm(15kv),2.2nm(1kv),放大倍数:25倍～6.5×10^-5.电子光学系统加速电压:0.5kv3～0kv,探针电流:10^-9～10^-13A,电子枪冷阴极场发射型,SIP-1真空≤5×10^-8pa,物镜:强激励圆锥透镜.试样台:其中心测角台自动驱动:x-y方向移动范围70mm×50mm,R:0-360⁰,手动:Z:1.5mm～25mm,T:-5～+60⁰,x射线能谱仪系统 INCA能谱仪:Si(LI)探测器,超ATW窗口，10mm²活区,分辨率(MnKa):133ev分析元素:Be⁴-V⁹².中间过渡室SIP-2真空≤5×10^-6Pa样品室真空≤5×10^-4Pa

主要功能：

无

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