激光分子束外延设备
分子束外延(MBE)
品牌：中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司
型号：LmBE-Ⅱ
仪器名称：
激光分子束外延设备
英文名称：
无
所属分类：
物理性能测试仪器 > 光电测量仪器 > 其他
学科领域：
其他
主要技术指标：
1.外延室极限真空：2×10-8Pa2.进样室极限真空：1×10-７Pa3.真空室漏率：小于5×10-8Pa.1/s4.靶:4个 可实现自转转速:５-60转/分，连续可调5.靶与样品距离可调30-90mm6.靶材最大直径:70mm7.样品:可做x.y向扫描
主要功能：
无
