典型用户

扫描电镜

扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）品牌：蔡司型号：EVOMA10

仪器名称：

扫描电镜

英文名称：

无

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜

学科领域：

其他

主要技术指标：

分辨率： 3.0nm@ 30KV(SE and W) 4.0nm@ 30KV(VP with BSD) 加速电压：0.2—30KV 放大倍数：7—1000000x 探针电流：0.5PA-5μAX-射线分析工作距离：8.5mm 35度接收角低真空压力范围：10—400Pa (LS10:10-3000Pa)工作室：310mm(φ)×220mm(h) 5轴优中心自动样品台：X=80mm Y=100mm Z=35mm T=0-90°R=360°最大试样高度：100mm，最大试样直径：200mm 系统控制：基于Windows XP 的SmartSEM操作系统

主要功能：

无