典型用户

扫描电子显微镜

电镜制样设备品牌：AC 型号：S-9220

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

CD-SEM

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

CD量测范围：0.1~200um CD量测重复性：±1%或3nm Specimen stage移动范围：0~200mm

主要功能：

量测Line/Space/hole的宽度

典型用户

新型功率半导体器件国家重点实验室

北京市科研单位

新型功率半导体器件国家重点实验室拥有IGBT集电极-发射极阻断断测试台、IGBT功率循环测试台、高温反偏阻断台3#、扫描电子显微镜、高温反偏阻断试验台、IGCT综合测试设备、Si 高温氧化炉、IGBT动态测试台、IGBT被动热循环测试台、电子直线加速器等科研仪器。

EMS

53台仪器 9家供应商

时代

28台仪器 4家供应商

Dynex

2台仪器 1家供应商

AMP

1台仪器 1家供应商

荷兰AC

0台仪器 1家供应商