热场发射扫描电子显微镜
电镜制样设备
品牌:FEI
型号:Nova NanoSEM 450
仪器名称:
热场发射扫描电子显微镜
英文名称:
无
所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 光学显微镜
学科领域:
其他
主要技术指标:
(1) 分辨率:1.4nm(1kV); 1nm(15kV)(2) 真空度:样品室真空度≤6x10-4Pa,电子枪真空度≤5x10-7Pa(3) 放大倍数:40倍~80万倍(4) 加速电压:加速电压 50V - 30kV,连续可调 (5) EDS能量分辨率优于127eV;元素分析范围Be4-Am95,具有点、线、面扫描功能。
主要功能:
无