磁控溅射镀膜仪
镀膜机
品牌:美国丹顿仪器公司
型号:DISCOVERY-635
仪器名称:
磁控溅射镀膜仪
英文名称:
无
所属分类:
工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 机加工工艺实验设备
学科领域:
其他
主要技术指标:
四个直径4英寸溅射靶枪(含一个磁性增强靶枪),靶枪角度可调节; 溅镀距离+/-100mm可调;独立式气动遮板四个;具备共溅镀和多层膜薄膜沉积功能;样品可加热至800摄氏度;极限真空: 优于1.5E-7Torr;真空抽速:30分钟从大气压抽到5E-6Torr;真空室漏率:优于5E-5Torr.L/s;在8英寸衬底范围内薄膜沉积厚度均匀性为±5、重复性为±3。
主要功能:
无