典型用户

真空PVD系统

物理气相沉积（PVD）品牌：费勉仪器科技（上海）有限公司型号：Fermi

仪器名称：

真空PVD系统

英文名称：

Vacuum PVD System

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

物理学化学工程与技术科学基础学科材料科学

主要技术指标：

直径 350mm柱形腔，柱形腔，材质为 SS316不锈钢，符合超高真空要求的不同尺寸法兰口；腔体充分烘烤后，本底真空好于 5x10-9 mbar（采用 CF150快门设计，如采用全金属密封则真空可好于 5x10-10 mbar）

主要功能：

金属、金属氧化物电子束蒸发制备薄膜样品

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