12英寸半自动半导体测试探针台

仪器名称：

12英寸半自动半导体测试探针台

英文名称：

300mm Semiautomatic Semiconductor Characterization Probe Station

所属分类：

电子测量仪器 > 大规模集成电路测试仪器 > 其他

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

最大可测300mm晶圆控温区间-40～200℃

主要功能：

晶圆级DC测试、RF测试、1/f噪声测试