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仪器信息网 典型用户 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 等离子体增强原子层沉积系统

等离子体增强原子层沉积系统

等离子体/化学刻蚀设备 品牌：江苏迈纳德微纳技术有限公司 型号：MNT-PD100 System

仪器名称：
等离子体增强原子层沉积系统

英文名称：
Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition System

所属分类：
工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电子产品通用工艺实验设备

学科领域：
化学 材料科学

主要技术指标：
1、衬底类型：玻璃、石英、硅片、蓝宝石、PET、粉末与颗粒等； 2、衬底尺寸：最大直径100mm; 3、前驱体： 液态、固态、气态、臭氧源； 4、等离子体系统：射频电源频率13.56MHZ，功率0-300W可调； 5、工艺温度： 衬底最高加热温度500℃，温度均匀性500±1℃。

主要功能：
本仪器是具有高度精密灵活的实验镀膜设备，可满足各种氧化物薄膜、氮化物薄膜、硫化物薄膜以及金属单质薄膜的沉积制备

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中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司

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中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司拥有三靶共溅射磁控溅射镀膜机、气泡仪、光学轮廓仪、平板粘度计、ORTON粘度计、垂直连续式高真空溅镀生产线、等离子体增强原子层沉积系统、ANSYS高级流场分析模块、三室复合薄膜沉积系统、拉曼光谱仪等科研仪器。

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