典型用户

电池性能测试仪

甲烷/非甲烷烃检测仪 品牌:沈科艺 型号:FJL-560

仪器名称:
电池性能测试仪

英文名称:

所属分类:
分析仪器 > 电化学仪器 > 其他

学科领域:
能源科学技术 动力与电气工程

主要技术指标:
溅射室:φ560×300,离子束室:φ500×450 运动方式:往复回转水冷加热 500℃

主要功能:
本系统为立式结构的高真空多功能磁控与离子束联合溅射镀膜设备,主要由磁控溅射室、磁控溅射靶、直流电源、射频电源、离子束溅射室、 Kaufman离子枪及电源、样品水冷和加热转盘、四工位转靶、泵抽系统、真空

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