典型用户

3D彩色激光扫描显微镜

数码显微镜 品牌:KEYENCE 型号:VK-X250K

仪器名称:
3D彩色激光扫描显微镜

英文名称:

所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 光学显微镜

学科领域:
化学 材料科学 环境科学技术及资源科学技术

主要技术指标:
1.综合倍率: 28000 倍以下,最大拍摄分析率:3072×2304 2.视野 (最小观察范围):11 μm 至 5400 μm 3.帧频率/激光测量速度: 4 至120 Hz、7900 Hz 4.光学系统: 针孔共聚焦光学系统;光接收元件:光电倍增器、16 bit 5.感应扫描方式:自动上下限设置功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ)反射光量不足补充功能(双扫描) 6.高度测量:显示分辨率/线性标尺0.5 nm;动态量程 (来自工件的光接收量的适用幅度)16 bit; 重复精度σ 20 倍 40 nm、50 倍 12 nm、150 倍 12 nm; Z轴测量用内存1400 万步骤;准确性0.2+L/100μm或更小(L=测量长度);最大样品高度28 mm, 128 mm (可选件)

主要功能:
本系统采用激光共聚焦显微测量技术,采用绿光光源,可实现最高200nm的分辨率,可实现对材料表面微结构的形貌及结构尺寸的精确测量

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