典型用户

多功能离子注入与沉积系统

自动进样器（多功能）品牌：表面型号：非标设备

仪器名称：

多功能离子注入与沉积系统

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 其他

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1真空室：全不锈钢结构: 2.真空抽气系统 3.高能气体离子源（一套）4.高能金属离子源（一套）5.低能溅射离子源（一套）6.离子束溅靶 7.供气系统 8.样品台 9.电源和控制系统

主要功能：

本设备可用于研究开发纳米级的单层及多层的金属膜、合金膜、化合物膜、金属化合物复合膜、半导体膜、掺杂膜、以及非金属离子注入改性，金属离子注入改性等，适合于基础研究和小批量试制。具有如下功能： 1.薄膜沉积 2..离子注入 3.离子注入与沉积的复合

典型用户

贵州省机电研究设计院

贵州省科研单位

贵州省机电研究设计院拥有离子注入与沉积系统、多功能离子注入与沉积系统等科研仪器。

表面

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