扫描电镜
扫描电镜(SEM)
品牌:蔡司
型号:卡尔蔡司EVO18
仪器名称:
扫描电镜
英文名称:
Scanning Electron Microscope
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
1、高真空模式二次电子像分辨率:3.0nm @30kV;8nm@3kV 2、低真空模式二次电子像分辨率:3.0nm @30kV;10nm@3kV 3、背散射电子(BSE)像分辨率:4.0nm@30kV 4、加速电压: 0.2kV~30KV 5、放大倍数:6倍~100万倍, 放大倍数误差<3% 6、样品台实现4轴马达驱动;="" 7、样品台移动范围="" x="50mm;Y=50mm;Z=50mm;T=" -15~+75°;r="360°连续旋转" 8、具有高真空模式、低真空模式和环境真空模式下的三个二次电子检测器以及背散射电子检测器和样品室ccd探测器="" 9、电制冷能谱仪,有效面积:10mm2,检测范围:4-95号元素。10、能谱仪分辨率:mn="" 优于131ev,分辨率100kcps。="">3%>
主要功能:
材料微观形貌和结构分析