典型用户

卧式等离子体化学气相容积设备

等离子体/化学刻蚀设备 品牌:中国电子科技集团公司第四十八研究所 型号:M82200-2/UM

仪器名称:
卧式等离子体化学气相容积设备

英文名称:

所属分类:
大气探测仪器 > 被动大气遥感仪器 > 微压计

学科领域:
材料科学

主要技术指标:
在基体表面或近表面空间进行化学反应,生成固态膜

主要功能:
材料检测

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