扫描电子显微镜
扫描电镜(SEM)
品牌:蔡司
型号:EVO MA15
仪器名称:
扫描电子显微镜
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
1、分辨率:3.0 nm 30 KV 4.0 nm 30 KV
2、加速电压:0.2-30KV
3、放大倍数:5-1000000 x
4、探针电流:0.5PA-5μA
5、X-射线分析工作距离:8.5mm 35度接收角
6、低真空压力范围:10-400Pa(选配:环扫模式10-3000pa) 用空气或可选的水蒸气
7、工作室:365mm (Φ) x 275 mm (h)
8、5轴优中心自动样品台:X=125mm Y=125mm Z=50mm
T=-10°- 90° R=360°(l连续)
9、最大试样高度:145mm 最大试样直径:250mm
主要功能:
材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析,各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体、晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。