典型用户

场发射扫描电镜

扫描电镜（SEM）品牌：蔡司型号：GeminiSEM 500

仪器名称：

场发射扫描电镜

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 光谱仪器 > 拉曼光谱仪

学科领域：

物理学

主要技术指标：

1.1 分辨率： 1.1.1高真空模式二次电子（SE）像： 15 kV时优于0.5 nm 1 k V时0.9nm（非样品台减速模式） 500V时1.0nm（非样品台减速模式） 1.1.2背散射电子分辨率：（增加背散射电子分辨率，背散射电子分辨率也是非常重要） 1 kV 时 1.0.nm 1.2 放大倍率范围：50 ～ 2,000,000倍根据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准 1.3 加速电压：20V ～ 30 KV 1.4 电子枪：肖特基场发射电子枪 1.5电子光路：采用非交叉束电子光？ 1.6 物镜：磁透镜与静电透镜组成的复合透镜（磁性样品高分辨成像、附件分析没有影响） 2.1 样品室：分析工作距离8.5mm、能谱仪采集角35度？ 2.2 样品台：五轴马达驱动样品台，移动范围指标： 130 mm≤X 130 mm≤Y 50mm≤Z 连续旋转：R=360° 倾斜角T：范围不小于－3o～70o 3.1探头：样品室二次电子探测器、样品室6分割背散射电子探测器、镜筒内环正光轴的二次电子探测器、镜筒内环正光轴的背散射电子

主要功能：

材料表面形貌观测

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