真空多弧离子镀及离子注入设备
离子注入机
品牌：泰科
型号：Technol(非标)
仪器名称：
真空多弧离子镀及离子注入设备
英文名称：
Vacuum multiarc ion plating and ion implantation equipment
所属分类：
物理性能测试仪器 > 力学性能测试仪器 > 材料试验机
学科领域：
物理学 材料科学 冶金工程技术 机械工程
主要技术指标：
考夫曼离子源：栅网口径：6cm，离子能量：100-600eV，离子束流：100mA，不均匀性：±15%，均匀区：ф170mm，距离：300m，工作气体：氩或氧。多弧电源：电源电压：AC220V±15%,50/60HZ，额定输入功率：7KVA，额定输入电流：32A，额定输出电压：20-40V（可调），开关频率：100KHZ，输出电流：20~120A（连续可调）。金属离子源：单电荷离子能量范围为20~80Kev，平均离子束流：≧10mA，引出电压：20-80kV，束斑直径：10cm，金属源尺
主要功能：
材料表面清洗与活化，材料表面离子注入改性及多种功能薄膜的制备。
