典型用户

X射线光电子能谱仪

X荧光光谱、XRF（波长色散型X荧光光谱仪）品牌：FIS 型号：K-Alpha+

仪器名称：

X射线光电子能谱仪

英文名称：

X-ray photoelectron spectroscopy

所属分类：

分析仪器 > X射线仪器 > 其他

学科领域：

化学

主要技术指标：

1。能量分辨率≤0。5 eV，对Ag3d5/2峰的半高宽，干净的银标样；2。空间分辨率≤30 ?m；3。微聚焦单色化（Al Kα）X射线源；3。1 束斑面积从400至30 μm连续可调，步长不超过5?m；3。2 XPS成像：快速平行成像4。能量分析器4。1能量范围：5-1500eV，最小步阶3meV4。2通过能范围：1-400eV，连续可调5。真空系统：分析室极限真空度，应优于5×10-9 mbar（无液氮冷肼辅助）；6。离子枪5。1能量范围：100-4000 eV；5。2 最大束流：4 ?A；5。3离子能量3 keV，束流3。5 ?A时束斑不大于500 ?m；5。4 离子束可控轴向旋转；5。5 束斑可调，自动对中。

主要功能：

样品表面的元素组成、元素的价态、结合能及相对含量的分析。样品包括各种固体材料，如粉末材料、高分子材料、物理薄膜以及新型光电材料、功能材料、陶瓷、玻璃、高分子聚合物、金属、半导体等。可以通过点扫描、线扫描、面扫描、刻蚀、深度剖析等方式提供元素及其化学态在表面、横向及纵向（深度）分布的信息。

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