移动机柜手动型PL谱仪
分子荧光光谱
品牌:北京中拓光电科技有限公司
型号:1M-1160
仪器名称:
移动机柜手动型PL谱仪
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 光谱仪器 > 激光光谱仪
学科领域:
其他
主要技术指标:
设备分辨率:0.2nm;
可测光谱范围:500-1700nm;
适应外延片尺寸:可测量2、4、6英寸外延片;
测量重复性:重复测量外延片Mapping统计结果的波长偏差小于±0.3nm;
积分光强偏差小于<3%; 厚度偏差小于0.1um;="" 测量点阵:256x256、128x128、64x64、32x32、16x16及其它自定义测量点阵;="">3%;>
主要功能:
检测外延片PL(光致发光)光谱;通过PL光谱测量外延片逐点的:峰值波长(WLP)、主波长(WLD)、光谱半宽(HW)、积分光强(INT)、峰强度(PI);显示及输出各被测量参数的均值、STD等统计结果,并以图形形式显示各项参数的Mapping分布。