典型用户

激光修正探针台

探针台品牌：赛尔网络有限公司型号：*_EVER BEING BD-8

仪器名称：

激光修正探针台

英文名称：

Laser trim probe station

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

信息科学与系统科学物理学工程与技术科学基础学科

主要技术指标：

8寸载物台，载物台平坦度5微米，X-Y轴行程 8"x8" ，Chuck旋转角度0~30 度，针座平台上下粗调行程6mm，平台上升下降25mm,精度1微米，20X~4000X 光学显微放大

主要功能：

针座平台可以快速升降便于wafer取放，针座平台可以微调升降便于探针卡再定位

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