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LabCVD -125SYS型实验室小型在线镀膜器

化学气相沉积(CVD) 品牌:宁波华尔克应用材料有限公司 型号:LabCVD-125STS型

仪器名称:
LabCVD -125SYS型实验室小型在线镀膜器

英文名称:

所属分类:
工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 其他

学科领域:
材料科学

主要技术指标:
1、镀膜基体厚度:3-4mm2、镀膜基体宽度:125mm,静宽度100mm3、最高速度:20m/hr4、镀膜槽:两个喷射槽5、基板温度范围:0-600℃6、镀膜器和电伴热温度:150-180℃

主要功能:
模拟常压在线化学气相沉积法(APCVD)镀膜,可以分别单独控制基板温度,移动速度,推送的原料的量(气化),原料成分和配比等工艺参数来镀制不同的膜层;两个镀膜槽口,可以同时叠加镀膜底膜和顶膜。

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