典型用户

脉冲激光溅射沉积系统

激光脉冲沉积(PLD) 品牌:中国科学院沈阳科学仪器研制中心 型号:PLD-450

仪器名称:
脉冲激光溅射沉积系统

英文名称:
Pulsed laser sputtering deposition system

所属分类:
激光器 > 激光器 > 激光器

学科领域:
物理学 电子与通信技术

主要技术指标:
真空室:球型真空室尺寸直径为450mm,极限真空:6.67*10-6Pa,衬底温度<>

主要功能:
氧化物薄膜样品的制备

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