典型用户

SEM截面样品离子束抛光仪

扫描电镜（SEM）品牌：AT 型号：GATAN 697C

仪器名称：

SEM截面样品离子束抛光仪

英文名称：

Ilion+ II

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

地球科学

主要技术指标：

1. 离子枪：两只潘宁式离子枪，装载环形永磁铁，聚焦离子束设计。离子枪无消耗品。2. 离子枪束能量：0.1keV~6keV3. 离子枪角度：可调，+10°到-10°，每只离子枪可独立调节4. 离子枪消耗：无消耗5. 抛光速率：硅，每小时>140μm，6kV6. 抛光区域：0.5-1.5mm，通过离子束可调节7. 样品台：Ti遮挡板，配合Sample Stub可直接转至SEM中观察，从而可以重复抛光原感兴趣区域8. 离子束调制：双束调制系统9. 样品更换：专利Whisperlok设计，样品更换时间<30s，无需破样品室真空

主要功能：

氩离子精密抛光装置是利用氩气，通过专利潘宁规式离子枪产生氩离子源，对岩石或微孔隙样品的表面进行轰击研磨。由于氩离子对样品的表面是进行原子级别的层层剥离，最终可以达到对样品表面进行精细抛光的作用。经过氩离子抛光后的岩石或微孔隙样品具有光滑的截面，而不会出现机械研磨造成的样品机械损伤，从而可以用来观察岩石或微孔隙样品的储层结构、定量统计储层孔隙，确定孔隙度等。

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东北石油大学拥有A3000高级过程控制系统、气质联用仪、声发射检测系统、卡尔蔡司荧光显微镜、SEM截面样品离子束抛光仪、表面物性分析系统、高效离子色谱仪、烃分析仪、岩心电参数综合全自动测定仪、非均质填砂模型微观驱替可视化分析系统等科研仪器。

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