典型用户

有机无机共蒸发设备

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器品牌：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司型号：极限真空度5*10（-5）Pa *（定制）

仪器名称：

有机无机共蒸发设备

英文名称：

Organic inorganic co evaporation equipment

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

物理学材料科学

主要技术指标：

真空度10-4Pa；

主要功能：

沉积无机金属电极，以及有机功能薄膜

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