典型用户

原子层沉积装置

原子层沉积系统（ALD）品牌：嘉兴科民电子设备技术有限公司型号：PE ALD-200E

仪器名称：

原子层沉积装置

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他

学科领域：

其他

主要技术指标：

PEALD等离子体增强原子层沉积系统是专门为特殊应用领域的科学研究与工业开发用户而设计的单片/多片沉积系统，系统电气完全符合CE标准；该系统扩展了普通原子层沉积系统对前驱体源的选择范围、提高薄膜沉积速率和降低沉积温度，广泛应用于对温度敏感材料和柔性衬底上薄膜的沉积。

主要功能：

沉积纳米级薄膜

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智能传感功能材料国家重点实验室

北京市科研单位

智能传感功能材料国家重点实验室拥有离子束辅助磁控溅射装置、脉冲激光镀膜系统（含分子激光器）、原子层沉积装置、冷等静压机、超高真空多功能镀膜装置、玻璃陶瓷板材漏铸设备、半导体光刻仪等科研仪器。

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所使用品牌

SUS

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安科

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