典型用户

超高真空多功能镀膜装置

自动进样器（多功能）品牌：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司型号：I-413

仪器名称：

超高真空多功能镀膜装置

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他

学科领域：

其他

主要技术指标：

磁控溅射包括直流和射频磁控溅射；离子束溅射用于金属、氧化物等材料的沉积。

主要功能：

沉积薄膜

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典型用户

智能传感功能材料国家重点实验室

北京市科研单位

智能传感功能材料国家重点实验室拥有离子束辅助磁控溅射装置、脉冲激光镀膜系统（含分子激光器）、原子层沉积装置、冷等静压机、超高真空多功能镀膜装置、玻璃陶瓷板材漏铸设备、半导体光刻仪等科研仪器。

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