典型用户

非接触深度测量显微镜系统

工具显微镜、测量显微镜 品牌:日本 型号:DH2

仪器名称:
非接触深度测量显微镜系统

英文名称:

所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域:
信息与系统科学相关工程与技术

主要技术指标:
X/Y/Z 行程:150mm,150mm,10mm; 分辨力:0.1μm; 测量精度:≤±1μm; 放大倍数:3~100倍。

主要功能:
长度、深度测量。

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中国科学院光电技术研究所拥有红外显微镜、高精度三维光学轮廓仪、激光平面干涉仪、立式加工中心、红外光谱仪、24英寸激光干涉仪、数控车床、超声波扫描显微镜、光学镀膜系统、椭圆偏振仪等科研仪器。

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