典型用户

非接触式三维光学轮廓仪

轮廓仪品牌：布鲁克型号：ContourGT-K

仪器名称：

非接触式三维光学轮廓仪

英文名称：

所属分类：

物理性能测试仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

其他

主要技术指标：

1、垂直测量范围： 0.1nm至 10 mm，全量程闭环扫描，可连续测量0.1nm到10mm Z向起伏样品，无需缝合拼接，垂直方向的分辨率：< 0.1nm。 2、RMS测量的重复性：≤ 0.01nm。 3、台阶高度测量准确性：≤0.75% （8um 台阶标准样块）；台阶高度测量重复性：≤0.1% 1δ。 4、样品反射率：0.051%至100%。 5、最大样品测试高度：100mm。

主要功能：

测试样品表面三维形貌、表面粗糙度，波纹度和台阶高度等

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新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室拥有X透射检测设备、温水等静压机、网络分析仪综合测试仪、打孔机、钟罩式气氛炉、封端机、电子束蒸发与电阻蒸发复合镀膜系统、单室等离子增强化学气相沉积系统、填孔丝印机、砂磨机（非防爆型）等科研仪器。

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