典型用户

非接触式三维光学轮廓仪

轮廓仪品牌：布鲁克型号：ContourGT-K

仪器名称：

非接触式三维光学轮廓仪

英文名称：

所属分类：

电子测量仪器 > 通用电子测量仪器 > 其他

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

1、垂直测量范围： 0.1nm至 10 mm，全量程闭环扫描，可连续测量0.1nm到10mm Z向起伏样品，无需缝合拼接，垂直方向的分辨率：< 0.1nm。="" 2、rms测量的重复性：≤="" 0.01nm。="" 3、台阶高度测量准确性：≤0.75%="" （8um="" 台阶标准样块）；台阶高度测量重复性：≤0.1%="" 1δ。="" 4、样品反射率：0.051%至100%。="">

主要功能：

测试样品表面三维形貌、表面粗糙度，波纹度和台阶高度等

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