典型用户

超净间

废气/废水处理机品牌：北京路宇翔净化工程技术有限公司型号：定制

仪器名称：

超净间

英文名称：

clean room

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

信息科学与系统科学物理学工程与技术科学基础学科

主要技术指标：

洁净度：万级；换气次数：15－25次/小时；压差：主车间对相邻房间≥5Pa；温度：冬季＞16℃±2℃；夏季＜26℃±2℃；相对湿度：45－65％（RH）；噪声≤60dBA；新风补充量：总送风量的20％－30％。

主要功能：

集成电路芯片及微纳结构的加工及测试要求需在洁净及温湿度稳定的环境中进行，以保证器件的可靠性。超净间可控制产品(如硅芯片等)所接触大气的洁净度及温湿度，保证产品能在一个良好的环境空间中生产及制造。

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北方工业大学拥有精密数控慢走丝线切割机床、太阳能综合测试平台、纳米扫描探针仪、无线工业互联网研究平台、五轴联动加工中心、定模动辊三维辊压成型生产线样机、机电一体化综合实验平台、全自动感应耦合等离子体蚀刻机、大功率直流电源、虚拟装配实验系统等科研仪器。

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