典型用户

金属多靶磁控溅射机

纯元素、稀土、稀贵金属及合金品牌：北京衡扬科技发展有限公司型号：SP-530

仪器名称：

金属多靶磁控溅射机

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

1）真空系统：复合分子泵+直联旋片无油机械泵抽真空系统；真空极限：优于5.0×10E-5Pa ；抽速：从大气开始抽气，溅射室25分钟可达到10E-4Pa；系统漏率≤ 5×10-7PaL/s，系统停泵关机12小时后真空度≤5Pa；2）基片台：可镀4"基片，4"样片内膜厚200nm的不均匀度≤±5%；样品基台可加热，室温～500℃，控温精度±1oC；3)溅射靶及电源：直径小于/等于3英寸，标配3个材料靶加一盲靶；各靶兼容直流溅射/中频溅射/射频溅射；靶之间相互不干扰/污染；电源配置：配有2台数字式500w直流溅射电源和1台500w全自动匹配射频溅射电源；

主要功能：

溅射沉积金属薄膜

同类品牌同类仪器推荐

32种混合金属标准溶液

品牌：伟业计量

纯元素、稀土、稀贵金属及合金

臭氧催化剂

品牌：朗科

纯元素、稀土、稀贵金属及合金

碲块,13494-80-9,阿拉丁

品牌：阿拉丁

纯元素、稀土、稀贵金属及合金

碲锭,13494-80-9,阿拉丁

品牌：阿拉丁

纯元素、稀土、稀贵金属及合金

二氧化碲,7446-07-3,阿拉丁

品牌：阿拉丁

纯元素、稀土、稀贵金属及合金

二氧化碲,7446-07-3,阿拉丁

品牌：阿拉丁

纯元素、稀土、稀贵金属及合金

推荐品牌

Millipore

545台仪器 118家供应商

哈希

1881台仪器 99家供应商

ATCC

0台仪器 43家供应商

德国元素

97台仪器 28家供应商

力可

64台仪器 19家供应商

Fluka

0台仪器 15家供应商

典型用户

湖北工业大学

湖北省高校

湖北工业大学拥有大型直剪仪（配计算机）、全自动图象电位分析仪、五轴联动加工中心、双槽蒸煮器、六自由度机械臂实验装置、立式加工中心、圆盘系统、光学轮廓仪、BCT自动装配机、隧道地质超前预报系统（地震测试仪器）等科研仪器。

点击发布采购需求

相关仪器品类

所使用品牌

安捷伦

1531台仪器 242家供应商

日立

426台仪器 49家供应商

BD 碧迪

29台仪器 49家供应商

福斯

149台仪器 22家供应商

日本电子

78台仪器 18家供应商

哈克

82台仪器 8家供应商

相干

49台仪器 5家供应商

AB

1台仪器 4家供应商

卓越

94台仪器 2家供应商

怀雅特

19台仪器 2家供应商

泰思

7台仪器 2家供应商

LI

5台仪器 2家供应商

FIS

4台仪器 2家供应商

天宝

0台仪器 2家供应商

RK

13台仪器 1家供应商

TE

11台仪器 1家供应商

光科

7台仪器 1家供应商

NTS

2台仪器 1家供应商

OCO

1台仪器 1家供应商

SE

1台仪器 1家供应商

OV

0台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商

飞世尔

0台仪器 1家供应商

真空

0台仪器 1家供应商