场发射扫描电镜
扫描电镜（SEM）
品牌：ISS
型号：FE-SEM
仪器名称：
场发射扫描电镜
英文名称：
FE-SEM+EDS
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
物理学
主要技术指标：
1、分辨率：1kV低电压验收2.8nm的分辨率—10万倍，15kV验收1.5nm分辨率—40万倍。
2、图像象散：10 kV, 30μm光栏孔,作距离, 50,000x 金标样，≤30 %。
3、测量准确性：10 kV, 30μm光栏孔, 5 mm工作距离，1mm光栅，误差≤3%。
主要功能：
物理性能测试
