典型用户

射频等离子体高能球化系统

等离子体/化学刻蚀设备品牌：APL 型号：TDU-30-H

仪器名称：

射频等离子体高能球化系统

英文名称：

RF induction plasma system

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电真空器件工艺实验设备

学科领域：

物理学材料科学

主要技术指标：

球形二氧化硅粉体与角形粉体相比具有流动性好、堆积密度大、均匀性好等优点,在各领域的生产中发挥着越来越重要的作用。RF（射频）热等离子体作为一种球化难熔粉体的有效手段具有温度高、传热速率快、球化工艺简单且无污染等特点,成为制备球形二氧化硅粉体的理想方法。粒径小于20 μm球形二氧化硅粉体的应用日益广泛,但是对于等离子体球化粒径小于20 μm的角形粉体的研究却较少。

主要功能：

球化二氧化硅粉体制造

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CIF

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典型用户

中国人民大学

北京市高校

中国人民大学拥有三轴谱仪极低温恒温器样品环境系统、超高速冷冻离心机、物性测量系统、多功能真空镀膜系统、中子速度选择器、激光光谱检测系统、电子能量分析器主体腔、动态热分析仪、核磁共振谱仪、冷中子广谱转动系统等科研仪器。

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