聚焦离子束系统
扫描电镜（SEM）
品牌：MP
型号：Start400
仪器名称：
聚焦离子束系统
英文名称：
Focused Ion Beam System
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
材料科学
主要技术指标：
分辨率５nm，30kV加速电压，离子束流1-11000pA
主要功能：
用FIB对芯片电路进行物理修改可使芯片设计者对芯片问题处作针对性的测试，以便更快、更准确的验证设计方案。若芯片部分区域有问题，可通过FIB对此区域隔离或改正此区域功能，以便找到问题的症结。 FIB还能在最终产品量产之前提供部分样片和工程片，利用这些样片能加速终端产品的上市时间。利用FIB修改芯片可以减少不成功的设计方案修改次数，缩短研发时间和周期。
