典型用户

暗场缺陷检查设备

其它通用分析品牌：TE 型号：Puma9150

仪器名称：

暗场缺陷检查设备

英文名称：

defect inspection(dark field)

所属分类：

分析仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

1. 低角度散射信号收集,从而更好的抑制前层噪音,提高信噪比.2. 同时具有微粒缺陷和图形缺陷的检测能力,且两者最小检测缺陷必须达到0.2微米3. 在达到基本检测灵敏度情况下,吞吐量要达到20片每小时.

主要功能：

用于45纳米工艺缺陷扫描

典型用户

上海集成电路研发中心有限公司

上海市企业

上海集成电路研发中心有限公司拥有频谱分析仪、晶边缺陷检查设备、缺陷检查设备、PSA系列频谱分析仪3Hz-26.5GHz、图像传感器测试机、CASCADE探针台、气体检漏系统、膜厚测量仪、IC-CAP软件及噪声测试硬件、匀胶显影设备等科研仪器。

安捷伦

1531台仪器 242家供应商

15台仪器 3家供应商

2台仪器 3家供应商

9台仪器 2家供应商

威尔

4台仪器 2家供应商

11台仪器 1家供应商

AMA

1台仪器 1家供应商