典型用户

刻蚀释放机

其它通用分析品牌：EMS 型号：SVR-XE200MM

仪器名称：

刻蚀释放机

英文名称：

所属分类：

特种检测仪器 > 光电检测仪器 > 其他

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

8英寸；XeF2气体；MFC控制；刻蚀速率：150nm/min；非均匀性：5%

主要功能：

用于MEMS器件牺牲层的去除

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典型用户

浙江大立科技股份有限公司

浙江省企业

浙江大立科技股份有限公司拥有探测器测试系统、电子扫描显微镜、红外热像仪装调系统、贴片机、电动三轴温控转台、四探针测试仪、真空共晶炉、尾气处理器（净化设备）、二十工位排气台、MRTD短焦距测试仪等科研仪器。

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