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中国科学院光电技术研究所拥有红外显微镜、高精度三维光学轮廓仪、激光平面干涉仪、立式加工中心、红外光谱仪、24英寸激光干涉仪、数控车床、超声波扫描显微镜、光学镀膜系统、椭圆偏振仪等科研仪器。
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