典型用户

电子束曝光机

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：日本电子型号：SEM：JSM-IT100；电子束曝光系统：NPGS V9.1

仪器名称：

电子束曝光机

英文名称：

EBL

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

信息科学与系统科学

主要技术指标：

曝光面积40mm*20mm；极限线宽：拼接场内100nm；单一场内50~100nm；图形套刻与拼接精度<>

主要功能：

用于制备纳米级分辨率的任意微纳结构图形。

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