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扫描电子显微镜及能谱仪

电镜制样设备品牌：蔡司型号：EVO MA10

仪器名称：

扫描电子显微镜及能谱仪

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 图像分析仪

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1.电子光学系统：分辨率：高真空二次电子像 ≤3.0nm @30kV、低真空背散射电子像 ≤4.0nm（30kV）；加速电压范围：200V－30kV，10V步进连续可调；放大倍数范围：7X－1,000,000X，连续可调。 2.能谱仪：可分析元素范围：Be4~U92；峰背比例：优于20000：1；能量分辨率：在20,000CPS条件下测量，Mn-Ka优于127eV，C-Ka优于56eV，F-Ka优于65eV；计数率：最大输入计数率>500,000cps ，最大输出计数率>100,000cps。

主要功能：

用于各种各样材料的宏观、微观结构和微区成份表征；可得到样品表面像和微区成份分布图，成为失效分析的主要研究手段；用于材料的微区成分定性、定量分析。